Intel拿下首批全新EUV光刻機 單價超3億美元

來源：快科技

1月19日，全球光刻機巨頭ASML公布了最新的財報，其2021年第4季度及2021全年業(yè)績均創(chuàng)歷年新高且優(yōu)于預(yù)期。

ASML還宣布其2022年一季度，其第二代高數(shù)值孔徑（High-NA）光刻機TWINSCAN EXE:5200獲得了首個訂單，這也意味著這款可以被用于2nm芯片制造光刻機的有望在2024年交付。

2021年營收186億歐元，毛利率高達52.7%根據(jù)財報顯示，ASML 2021年第4季營收為49.86億歐元，凈利潤為17.74億歐元，毛利率達54.2%。新增訂單金額為70.50億歐元。

2021年全年營收達186.11億歐元（同比增長35%），凈利潤為58.83億歐元，毛利率為52.7%。2021年全年新增訂單為262.40億歐元，其中一半來自于EUV光刻機。

溫彼得表示，ASML在2021年第四季度收到了一份TWINSCAN EXE:5000的訂單。自2018年以來，ASML已經(jīng)收到四份TWINSCAN EXE:5000的訂單。

據(jù)了解，EXE:5000主要面向的是3nm工藝，而第二代的0.55 NA EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200將會被用于2nm工藝的生產(chǎn)。

021年出貨了42臺EUV光刻系統(tǒng)2021年ASML來自光刻系統(tǒng)方面的營收為136.53億歐元，總共銷售了287臺光刻系統(tǒng)。

具體的銷量方面，EUV光刻系統(tǒng)42臺，貢獻了約63億歐元，銷售額占比高達46%；ArFi光刻系統(tǒng)81臺，銷售額占比36%；ArF光刻系統(tǒng)131臺，銷售額占比10%；i-Line光刻系統(tǒng)33臺，銷售額占比1%。

從銷售的光刻系統(tǒng)的最終用途來看，70%被用于邏輯半導(dǎo)體制程，30%被用于存儲芯片的制造。

從光刻系統(tǒng)最終出貨地來看，中國臺灣地區(qū)貢獻的銷售額占比高達44%，韓國占比35%，中國大陸占比16%。

溫彼得表示：“2021年ASML的EUV出貨量增長并不高，這主要是由于我們在第三季度宣布的物流中心和供應(yīng)鏈問題影響的結(jié)果。但這完全由EUV光刻機的安裝及升級等基礎(chǔ)收入補償了，特別是我們能夠向客戶提供的生產(chǎn)力升級。我們的客戶急需額外的容量，需求量很大。這部分的銷售額為15億歐元。在我們稱之為生產(chǎn)力提升包的推動下，安裝了大量選項，為客戶提供了額外的晶圓容量。”

DUV 業(yè)務(wù)方面，ASML表示，XT:860N 已于 2021 年底交付給其第一個客戶。這種 KrF 系統(tǒng)提供了更好的性能和更低的成本。2022年，隨著 NXT:870 的引入，ASML將把 KrF 添加到 NXT 平臺中，使其能夠在生產(chǎn)率和擁有成本方面邁出重要的一步，并在 ArFi 和 ArFDry 中構(gòu)建這個平臺上的現(xiàn)有經(jīng)驗。

應(yīng)用業(yè)務(wù)方面，首款 eScan1100 多束檢測系統(tǒng)計劃在未來幾周內(nèi)交付，該系統(tǒng)是專為大批量生產(chǎn)設(shè)計的。由于采用了 25 束（5x5），預(yù)計 eScan1100 與單一電子束檢測工具相比，可增加 15 倍的吞吐量，用于目標在線缺陷檢測應(yīng)用。

單價超3億美元，TWINSCANEXE:5200已接獲首個訂單

由于EUV光刻系統(tǒng)中使用的極紫外光波長（13nm）相比DUV 浸入式光刻系統(tǒng)（193 nm）有著顯著降低，多圖案 DUV 步驟可以用單次曝光 EUV 步驟代替。可以幫助芯片制造商繼續(xù)向7nm及以下更先進制程工藝推進的同時，進一步提升效率和降低曝光成本。

自2017年ASML的第一臺量產(chǎn)的EUV光刻機正式推出以來，三星的7nm/5nm工藝，臺積電的第二代7nm工藝和5nm工藝的量產(chǎn)都是依賴于0.55 數(shù)值孔徑的EUV光刻機來進行生產(chǎn)。

目前，臺積電、三星、Intel等頭部的晶圓制造廠商也正在大力投資更先進的3nm、2nm技術(shù)，以滿足高性能計算等先進芯片需求。而3/2nm工藝的實現(xiàn)則需要依賴于ASML新一代的高數(shù)值孔徑 (High-NA) EUV光刻機EXE:5000系列。

ASML目前正在開發(fā)當中的高數(shù)值孔徑 (high-NA) EUV光刻機是基于0.33 數(shù)值孔徑透鏡的 EUV 光刻系統(tǒng)的迭代產(chǎn)品，其具有 0.55 數(shù)值孔徑的鏡頭，分辨率為 8 納米，而現(xiàn)有的0.33 數(shù)值孔徑透鏡的 EUV 光刻系統(tǒng)的分辨率為 13 納米，使得芯片制造商能夠生產(chǎn)3/2nm及以下更先進制程的芯片，并且圖形曝光的成本更低、生產(chǎn)效率更高。

但是，0.55 NA EUV光刻系統(tǒng)造價相比第一代的EUV光刻機也更高。據(jù) KeyBanc 稱，一臺0.55 NA EUV光刻系統(tǒng)的成本預(yù)計為3.186億美元，而目前正在出貨的EUV光刻系統(tǒng)則為1.534億美元。

值得注意的是，ASML總裁兼CEO溫彼得透露，在2021年第四季度，ASML獲得的價值為70.50億歐元的新增訂單當中，0.55 NA EUV光刻系統(tǒng)和0.55 NA EUV光刻系統(tǒng)的訂單金額就達到了26億歐元。

溫彼得表示，ASML在2021年第四季度收到了一份TWINSCAN EXE:5000的訂單。自2018年以來，ASML已經(jīng)收到四份TWINSCAN EXE:5000的訂單。據(jù)了解，EXE:5000主要面向的是3nm工藝。而第二代的0.55 NA EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200將會被用于2nm工藝的生產(chǎn)。

溫彼得透露，在2022年初，ASML已收到了下一代的TWINSCAN EXE:5200的第一份訂單，這標志著ASML在引入 0.55 NA EUV光刻的道路上又邁出了一步。

根據(jù)ASML的路線圖，TWINSCAN EXE:5000將會在今年下半年出貨，每小時可生產(chǎn)185片晶圓。而TWINSCAN EXE:5000將會在2024年底出貨，每小時可廠商超過220片晶圓。

在2021年7月底的“Intel加速創(chuàng)新：制程工藝和封裝技術(shù)線上發(fā)布會”上，Intel已宣布將在2024年量產(chǎn)20A工藝（相當于臺積電2nm工藝），并透露其將率先獲得業(yè)界第一臺High-NA EUV光刻機。ASML TWINSCAN EXE:5200光刻機的首份訂單正是來自于Intel。

ASML總裁兼首席技術(shù)官Martin van den表示，Intel對ASML在High-NA EUV技術(shù)的遠見和早期承諾證明了對摩爾定律的不懈追求。與目前的EUV系統(tǒng)相比，ASML的擴展EUV路線圖以更低的成本、時間周期和架構(gòu)等方面提供了持續(xù)的改進，這將推動芯片行業(yè)未來十年發(fā)展的動力所在。

對于Intel來說，搶先獲得ASML TWINSCAN EXE:5200光刻機，也正是Intel篤定其制程工藝能夠超越臺積電、三星重回領(lǐng)先地位的關(guān)鍵。

不過，臺積電和三星此前應(yīng)該也在爭奪Hight NA EUV光刻機。去年10月初，三星在10月初初已宣布，將在2022年上半年量產(chǎn)3nm工藝，并計劃在2025年搶先臺積電量產(chǎn)2nm。

為此，有消息顯示，三星也在緊急搶購一臺Hight NA EUV光刻機，并要求ASML直接拉到三星工廠內(nèi)進行測試。

另外，臺積電在此前的法說會上也對外，2025年臺積電2nm制程不論是密度或是效能，都將是最領(lǐng)先的技術(shù)。

柏林工廠火災(zāi)不會影響2022年出貨

今年1月3日，ASML位于德國柏林的一座工廠發(fā)生火災(zāi)，大火在當晚被撲滅，沒有人員在火災(zāi)中受傷。

資料顯示，ASML德國柏林工廠是一座零部件工廠，主要生產(chǎn)晶圓臺、光罩吸盤和反射鏡模塊等DUV和EUV光刻機所需的零部件。

隨后，ASML在官網(wǎng)上表示，火災(zāi)后DUV光刻機零部件的生產(chǎn)部分中斷，但很快生產(chǎn)已經(jīng)恢復(fù)，預(yù)計他們將以一種不會影響DUV光刻機產(chǎn)量和收入計劃的方式進行補救。另外，柏林工廠火災(zāi)還影響到了EUV光刻機一個零部件的生產(chǎn)區(qū)域，恢復(fù)計劃仍在進行中，他們已決定采取相關(guān)的措施，將對EUV光刻機客戶、產(chǎn)出計劃及服務(wù)的潛在影響降到最低。

在此次的財報會議上，溫彼得表示，柏林工廠火災(zāi)在幾個小時內(nèi)就已被撲滅，但仍然有重大損失。對于DUV光刻機，雖然有一些初始干擾，但其認為不會對2022年的產(chǎn)量產(chǎn)生任何影響。另外，EUV光刻機所需的晶圓鉗的生產(chǎn)受到了影響，這是一個非常復(fù)雜但非常重要的模塊。但通過我們的努力，相信能夠應(yīng)對這種情況，我們認為不會看到對我們的EUV光刻機的2022年的產(chǎn)量生產(chǎn)大的影響。

2022年一季度營收約為33-35億歐元

ASML也公布2022年第一季財測，預(yù)估營收凈額約為33億到35億歐元之間，毛利率約49%。ASML預(yù)計一季度研發(fā)成本約為7.6億歐元，SG&a成本約為2.1億歐元。

ASML總裁兼CEO溫彼得表示：“第一季度凈銷售額指導(dǎo)值較低的原因是大量快速發(fā)貨，使得約20億歐元的預(yù)計收入將從第一季度轉(zhuǎn)移到隨后的季度。而去年四季度快速發(fā)貨推遲到今年一季度確認的金額約為3億歐元。”

“客戶對于光刻系統(tǒng)的需求超過了我們的生產(chǎn)能力所能滿足的范圍。終端市場的強勁需求，給我們的客戶帶來了增加晶圓產(chǎn)量的壓力。為了支持我們的客戶，我們?yōu)樗麄兲峁┝烁呱a(chǎn)率升級解決方案，并縮短了我們工廠的生產(chǎn)周期以交付更多的光刻系統(tǒng)。減少交付周期時間的一種方法是，通過快速裝運過程，跳過我們工廠的一些測試。最終測試和正式驗收將在客戶現(xiàn)場進行，通常驗收程序需要幾周的時間（有時三到四周）。這雖然將導(dǎo)致這些發(fā)貨的收入延遲確認，直到客戶正式接受，但這確實為我們的客戶提供了更早獲得增加晶圓輸出能力的機會。”溫彼得進一步解釋到。

2022年營收預(yù)計增長20%

對于2022全年的業(yè)績預(yù)期，ASML也比較樂觀的認為會保持同比約20%左右的營收增長。

“2022年將是一個好年頭。與2021相比，我們預(yù)計增長率約為20%。這是一個很好的數(shù)字，因為你必須考慮到我們在2022年年底前也會有一些‘快速發(fā)貨’，導(dǎo)致部分收入轉(zhuǎn)移到2023年確認。我們目前認為2020年年底大約有六個EUV系統(tǒng)將被快速裝運發(fā)貨。如果將延遲確認的收入加上，那么2022年的營收將同比增長25%左右。”溫彼得說到。

2022年將出貨55臺EUV光刻機

對于2022年的EUV光刻機的出貨量，ASML預(yù)計將會達到55臺。正如起前面提到到的，其中約有6臺的收入將會推遲到2023年確認。另外，預(yù)計2023年EUV光刻機的出貨量將增長到60臺。

在DUV光刻機業(yè)務(wù)方面，ASML認為，DUV光刻機的出貨2022年將會尤其強勁。因為它涉及了所有行業(yè)，包括存儲和邏輯芯片制造。特別是芯片的持續(xù)短缺導(dǎo)致了對DUV光刻機的強烈需求。

溫彼得預(yù)測，“與2021年相比，2022年我們的DUV光刻機業(yè)務(wù)可能會有大約20%的增長。”

另外，在安裝基礎(chǔ)選項方面，溫彼得也表示，2021年有一個非常強勁的增長，客戶對于安裝基礎(chǔ)選項的需求增加了很多，以增加更多的晶圓產(chǎn)量，ASML仍然預(yù)計2022年這塊仍將增長約10%。

標簽： EUV光刻機 訂單金額 光刻系統(tǒng) EUV出貨量

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