超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備投產(chǎn) 將為保障全球半導(dǎo)體產(chǎn)能提供技術(shù)支撐

來源：科技日報

隨著技術(shù)人員操作機械臂，裝載著一摞摞高純鉭靶材的巨型料架從設(shè)備缸體內(nèi)緩緩升起……6月30日，位于浙江省余姚市，由寧波江豐電子材料股份有限公司（以下簡稱江豐電子）與四川航空工業(yè)川西機器有限責(zé)任公司（以下簡稱川西機器）聯(lián)合研制的超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備投產(chǎn)。

“這是目前國內(nèi)有效熱區(qū)容積最大的熱等靜壓設(shè)備，可制備長度4米的超長規(guī)格高純?yōu)R射靶材。”江豐電子董事長兼首席技術(shù)官姚力軍博士介紹，該設(shè)備完全國產(chǎn)化，相關(guān)技術(shù)參數(shù)均達到國際先進水平，可為我國戰(zhàn)略性新興材料的自主可控提供關(guān)鍵的工藝裝備。

超大規(guī)格設(shè)備應(yīng)需而生

高純?yōu)R射靶材是國家中長期發(fā)展規(guī)劃中明確重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平面顯示器、太陽能電池、信息存儲和光學(xué)應(yīng)用等行業(yè)。

近年來，國內(nèi)開始出現(xiàn)少量專業(yè)從事高純?yōu)R射靶材研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)，突破靶材專業(yè)技術(shù)門檻，已在國內(nèi)靶材市場占據(jù)一定份額。

“一些知名品牌智能手機芯片的制造，用的就是江豐電子生產(chǎn)的高純度濺射靶材。”姚力軍介紹，江豐電子陸續(xù)實現(xiàn)了鋁、鈦、鉭、銅、鎢等超高純金屬濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn)，成為諸多國內(nèi)外知名廠商的高純?yōu)R射靶材供應(yīng)商。

據(jù)介紹，超高純材料的致密化是制備電子信息產(chǎn)業(yè)靶材的基礎(chǔ)。熱等靜壓設(shè)備可實現(xiàn)高純粉末冶金濺射靶材有效致密化、靶材基板異種金屬大面積擴散焊接，可對超高純原材料的制備提供消除缺陷、達到完美致密工藝要求的設(shè)備保障。

“不妨將靶材和熱等靜壓設(shè)備比作食材和高壓鍋，現(xiàn)有技術(shù)條件下，燒制時間變化不大。為提高制備效率，我們需要更大的‘高壓鍋’，無論制備超長規(guī)格的高純?yōu)R射靶材、還是小尺寸靶材，都能提高單位時間的產(chǎn)量。”寧波江豐熱等靜壓技術(shù)有限公司總經(jīng)理曹歡歡介紹，目前全球芯片處于短缺的狀態(tài)，江豐電子作為芯片制造領(lǐng)域上游企業(yè)，力求保障供應(yīng)鏈穩(wěn)定。

2018年，江豐電子與川西機器就超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備進行簽約，其有效熱區(qū)工作高度4.5米、直徑1.25米，最高加熱溫度可達1500℃，最大壓力可達2000個大氣壓。

技術(shù)攻堅創(chuàng)造極端條件

作為國內(nèi)靜壓設(shè)備研制領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，川西機器針對該設(shè)備在研制過程中可能存在的熱區(qū)均勻性、氣體壓力曲線比例控制、加熱部件運輸?shù)热箫L(fēng)險進行分析，制定了相應(yīng)的技術(shù)路線和處置措施，確保該臺超大規(guī)格設(shè)備研制順利進行。

“這臺設(shè)備有效熱區(qū)高度為目前國內(nèi)同類設(shè)備熱區(qū)最高。”川西機器總工程師吳小平告訴記者，4.5米的高度，使得垂直方向上有效熱區(qū)均勻性±10攝氏度的溫度極難保障。

據(jù)介紹，技術(shù)團隊通過采用加熱爐分區(qū)控制、變徑協(xié)調(diào)和螺旋繞絲等技術(shù)措施，解決了這項技術(shù)難題。

“有效熱區(qū)是在圓柱形的缸體內(nèi)，外側(cè)用保溫棉纏繞、加裝不銹鋼隔熱桶。其中底座實現(xiàn)單獨控溫，加熱方式可參考電水壺底部的電爐絲。”吳小平介紹道，缸體內(nèi)被劃分為5個溫區(qū)，為確保對內(nèi)部溫度的實時監(jiān)測，每區(qū)配有兩個同時運作的溫度傳感器。

此外，由于高純?yōu)R射靶材特殊的工藝需求，要求熱等靜壓設(shè)備具有控制精度為±1兆帕的氣體壓力比例控制功能。川西機器技術(shù)團隊專門研制了一臺具有高精度比例控制功能的氣體壓縮機以滿足其工藝要求。

“能自主研發(fā)這一超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備，自己以往‘做夢都不敢想’。”姚力軍表示，它實現(xiàn)了對控制、壓力、機械、溫度等多方面技術(shù)的整合，補齊了我國在電子材料產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的設(shè)備短板，將為保障全球半導(dǎo)體產(chǎn)能提供技術(shù)支撐。

標簽： 熱等靜壓設(shè)備 半導(dǎo)體 產(chǎn)能 高純鉭靶材

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